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SRBZ820C-SMSX

关键字导读: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS

形貌:磁流体密封、网络化控制器、MCBF大于1000万次,SEMI认证S2,F47,逢迎个性化设想具有手臂长度、自由度可选,手指及接口用户可定制的特性,耐高温、耐侵蚀,静态纠偏和碰撞珍爱功用。

简介

Introduction

接纳先辈的曲驱机电驱动手艺,具有乐音小、振动小、运转安稳、精度高档特性。具有更敏捷的碰撞珍爱功用,有用珍爱机械手和客户晶圆。全新的轨迹计划,进步活动节奏,进步了用户产能。安全区珍爱等功用有效地进步了产物的平安品级。正在半导体前讲高端装备中普遍运用,对装备可靠性要求下。天真的本地化、可定制化效劳,快速相应的售后服务,和矮壮的手艺气力,是我们的重要竞争力。鞭策了海内半导体产业链的前进,有用的支持了海内装备商的生长。


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参数

Parameter


构造情势Mechanical Structure柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
密封体式格局Seal way磁流体密封Ferro-Fluidic Sealing
自由度数DOF2
负载Payload称号name托盘Tray
直径diameterΦ370mm
重量weight2.5kg

最大活动局限

Moving  Range
R轴(mm)R-Axis

立柱中央至R轴最大舒展处被搬运物体中央间隔820

Distance  from pillar center to  the moving objects  center of the biggest R-axis stretching is R820mm
θ轴(°)θ-Axis

齐路程最小工夫

Minimum running time
R轴(s)R-Axis2.5
θ轴(s)θ-Axis3.5

反复定位精度

Repeatability
θ轴(°)θ-Axis±0.01(3σ)
R轴(mm)R-Axis±0.1(3σ)
重量Weight机械手本体Main-body41kg
控制器Controller15kg
耐真空度Base Pressure (Pa)10­-5Pa
漏率leak rate<1*10E-8Mbar*L/s
碰撞珍爱Collision Protect Function盘片和机械手无毁伤Disc and robot without damage